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本发明公开了一种分子泵控制器，涉及真空泵控制领域，其技术方案要点是：包括下端壳体、上端盖板、中间面板，下端壳体内固定安装有驱动板，上端盖板固定安装有与驱动板平行的控制板，驱动板与控制板之间通过至少两个排针连接；通信电路、状态指示电路、温度检...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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