一种分子泵控制器制造技术

本发明专利技术公开了一种分子泵控制器，涉及真空泵控制领域，其技术方案要点是：包括下端壳体、上端盖板、中间面板，下端壳体内固定安装有驱动板，上端盖板固定安装有与驱动板平行的控制板，驱动板与控制板之间通过至少两个排针连接；通信电路、状态指示电路、温度检测电路、电源监测电路、控制芯片、光电隔离电路和滞回比较电路均集成分布在控制板；供电电路、PWM信号放大电路、逆变电路、滤波电路、虚拟中性点电路、电压比较电路均集成分布在驱动板。本发明专利技术通过对PCB电路板进行布局设计以及更加各个电路的运行特性集成布置在相应的PCB电路板上，提高了控制器内部元器件之间的抗干扰能力，简化了内部集成各种元器件所需的辅助结构。化了内部集成各种元器件所需的辅助结构。化了内部集成各种元器件所需的辅助结构。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵控制器


[0001]本专利技术涉及真空泵控制领域，更具体地说，它涉及一种分子泵控制器。

技术介绍

[0002]分子泵是一种常用的真空获取设备，它利用高速旋转的叶片把动量传递给气体分子，使之在刚体表面产生定向流动，从而达到抽气目的。分子泵被广泛应用于需要高真空度的领域中，如半导体行业、真空镀膜行业、检漏仪、气相质谱仪等。
[0003]分子泵是由分子泵控制器进行驱动和控制的，它们共同组成了分子泵系统。分子泵控制器是为分子泵提供动力的设备，一般具有转速控制、电流检测、温度检测、故障报警等功能。随着真空应用领域的不断发展，一些便携式分析仪器也逐渐使用分子泵系统。便携式分析仪器通常体积小、重量轻、内部空间有限，约束了分子泵系统的体积和重量，要求分子泵系统必须紧凑、轻盈。然而，现有的分子泵控制器体积大、重量沉，不易与分子泵集成，更不用说集成在紧凑的便携式分析仪器内部；此外，现有的分子泵控制器若直接进行集成简化易导致散热性能差、抗干扰能力弱以及使用寿命短等问题。
[0004]因此，如何研究设计一种合理集成简化设计后能够适用于便携式分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵控制器，其特征是，包括控制主体和控制系统；控制主体包括下端壳体(1)、上端盖板(13)、中间面板(17)，上端盖板(13)与下端壳体(1)的顶端开口盖合，中间面板(17)与下端壳体(1)的侧面开口盖合；下端壳体(1)内固定安装有驱动板(3)，上端盖板(13)固定安装有与驱动板(3)平行的控制板(15)，驱动板(3)与控制板(15)之间通过至少两个排针(8)连接；上端盖板(13)穿设有出线孔(12)，控制板(15)通过三相线缆(10)连接有穿过出线孔(12)的接插件(11)；驱动板(3)固定安装有DB9接口(4)，中间面板(17)设有与DB9接口(4)配合的DB9固定口(19)；控制系统包括通信电路、状态指示电路、反电动势过零点检测电路、驱动电路、供电电路、温度检测电路、电源监测电路；反电动势过零点检测电路由滤波电路、虚拟中性点电路、电压比较电路、光电隔离电路和滞回比较电路组成；驱动电路由PWM信号放大电路、逆变电路以及控制芯片组成；其中，通信电路、状态指示电路、温度检测电路、电源监测电路、控制芯片、光电隔离电路和滞回比较电路均集成分布在控制板(15)；供电电路、PWM信号放大电路、逆变电路、滤波电路、虚拟中性点电路、电压比较电路均集成分布在驱动板(3)。2.根据权利要求1所述的一种分子泵控制器，其特征是，所述下端壳体(1)由一个底面、三个侧面组成的长方形壳体；下端壳体(1)的外底面设有散热肋条(22)，内底面的四角处设有凸台，驱动板(3)通过第一螺钉(9)与凸台固定连接；下端壳体(1)的三个侧面均设有均匀分布的散热通孔(20)；上端盖板(13)的内表面四角处设有凸台，控制板(15)通过第二螺钉(16)与凸台固定连接；上端盖板(13)背向下端壳体(1)的外表面呈卡口状，卡口侧边设有可将上端盖板(13)与分子泵固定的螺纹孔；下端壳体(1)、中间面板(17)、上端盖板(13)均由铝合金材质制备而成。3.根据权利要求1所述的一种分子泵控制器，其特征是，所述控制系统具体为：控制芯片的输出端与分子泵电机的输入端之间依次连接有PWM信号放大电路、逆变电路；分子泵电机输出的反电动势与控制芯片的输入端之间依次连接有滤波电路、电压比较电路、光电隔离电路、滞回比较电路，且滤波电路的输出端与电压比较电路的另一输入端还通过虚拟中性点电路连接；温度检测电路用于采集分子泵电机的温度信息，温度检测电路的输出端与控制芯片的输入端连接；控制芯片的输出端与通信电路的输入端连接，通信电路与DB9接口(4)双向通信连接；DB9接口(4)的输出端与控制芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，李建，陶继忠，刘广民，黄小津，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：