下载半导体装置的形成方法的技术资料

文档序号:27822948

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

半导体装置的形成方法,包括提供结构,其包括基板、第一鳍状物与第二鳍状物、接合第一鳍状物的第一栅极结构、与接合第二鳍状物的第二栅极结构;沉积介电层于第一栅极结构与第二栅极结构上;蚀刻介电层,以形成第一栅极接点开口露出第一栅极结构,并形成第二栅...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。