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具有在三维存储器器件中的突出部分的沟道结构和用于形成其的方法技术
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下载具有在三维存储器器件中的突出部分的沟道结构和用于形成其的方法的技术资料
文档序号:27818610
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在衬底之上形成穿过电介质叠层垂直地延伸的第一开口。电介质叠层包括垂直地交替的电介质层和牺牲层。移除牺牲层的面向开口的部分以形成多个第一凹槽。沿着多个第一凹槽的侧壁形成多个停止结构。在多个第一凹槽中的多个停止结构之上形成多个存储结构。从与多个...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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