下载一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂的技术资料

文档序号:27804591

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本发明公开一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有通式(A)所示结构。该产酸剂对波长300-450nm特别是365nm(I线)和405nm(H线)的活性能量射线具有高灵敏度,溶解性好且产酸性强的光产酸剂。的光产酸剂。的光产酸剂。
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