下载能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂的技术资料

文档序号:27804588

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本发明公开一种能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有如下通式(A)所示结构。该光产酸剂对波长300-450nm特别是365nm的活性能量射线具有高灵敏度、溶解度高且耐热性优异。溶解度高且耐热性优异。溶解度高且耐热性优异。
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