下载半导体存储装置及其制造方法的技术资料

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提供半导体存储装置及其制造方法,能够实现电特性的提高。半导体存储装置具有基板、第一层叠部、多个第一柱状部、第二层叠部、多个第二柱状部和第三层叠部。在所述第一层叠部,第一导电层和第一绝缘层沿所述基板的厚度方向交替地层叠。所述多个第一柱状体分别...
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