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半导体存储装置制造方法及图纸
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文档序号:27748321
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实施方式提供一种能够实现可靠性提升的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具有积层体、第1群的多个柱状体、第2群的多个柱状体、及绝缘膜。所述第2群的多个柱状体是相对于所述第1群的多个柱状体配置在第2方向上。所述绝缘膜在所述积层体内以所述第...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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