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用于控制具有多变量输入参数的制造工艺的方法、系统和介质技术方案
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下载用于控制具有多变量输入参数的制造工艺的方法、系统和介质的技术资料
文档序号:2774830
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一种用于控制制造装置的方法,所述方法包括以下步骤: (a)识别至少一个输入,所述至少一个输入导致多个输出中的至少两个输出发生改变; (b)存储所识别的输入的值和对应的经验输出值以及预测输出值,其中所述预测输出值是部分地基于所述所...
该专利属于应用材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料有限公司授权不得商用。
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