下载半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:27748004

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一种具有负电容介电结构的半导体装置结构以及上述半导体装置的制造方法。一种半导体装置的制造方法包括:形成一鳍部结构于一基底上,鳍部结构具有一鳍部基体部及一鳍部顶部;形成一间隙壁结构于鳍部顶部的一第一区域内,其中间隙壁结构包括第一负电容介电材料...
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