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本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊合表...
该专利属于苏州精美科光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精美科光电材料有限公司授权不得商用。

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