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本发明实施例公开了一种测试组件及其测试方法。所述测试组件包括：基底，以及位于所述基底上的第一测试结构和第二测试结构；所述第一测试结构包括第一待测器件，所述第一待测器件包括第一栅介质层以及位于所述第一栅介质层上的第一栅极层；所述第二测试结构包...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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