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一种氧化物发光场效应晶体管制造技术
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文档序号:27615643
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一种氧化物发光场效应晶体管,设置有基板、栅极、绝缘层、有源层、源极和漏极,以掺有稀土元素的氧化物半导体材料作为有源层。所述稀土元素为Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm或者Yb中的至少一种。本发明的氧化物发...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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