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涂布装置制造方法及图纸
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文档序号:27574821
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本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A),且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截,因此...
该专利属于株式会社斯库林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。
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