涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A)，且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截，因此能够防止因冰柱状的涂布液导致底排气通路(PT2)堵塞。另外，当气体从外排气通路(PT1)流向底排气通路(PT2)时，截流环(41)能够捕获涂布液雾气。进而，当气体从底排气通路(PT2)流向内排气通路(PT3)时，截流环(41)能够进一步捕获残留的涂布液雾气。能够提高处理液雾气的捕获效率。捕获效率。捕获效率。

【技术实现步骤摘要】
涂布装置


[0001]本专利技术涉及一种将涂布液涂布在衬底表面的涂布装置。衬底例如可列举：半导体衬底、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用衬底、光罩用玻璃衬底、光碟用衬底、磁碟用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底等。FPD例如可列举：液晶显示装置、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等。

技术介绍

[0002]以往的涂布装置是通过向衬底上供给涂布液，并使衬底旋转而将涂布液涂布在衬底上。此时，多余的涂布液因离心力而飞散到衬底外。飞散到衬底外的涂布液利用防飞散罩(以下，称作“罩”)进行回收(例如，参照专利文献1～3)。
[0003]此外，专利文献1中揭示了一种捕雾器，其在将罩内的气体向外部排出的排气通路内、且在排气口附近，捕捉罩内气体中所含有的涂布液雾气。
[0004]专利文献2中揭示了一种截流部件，其捕捉悬浮的线状涂布液。截流部件具有多个孔部。截流部件配置为将上下方向的排气通路从下侧拦截。截流部件利用螺丝，经由间隔片安装在整流部件。由于截流部件形成为大于整流部件的外径，因此能够使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂布装置，其特征在于具备：旋转吸盘，保持衬底；旋转轴，设置在所述旋转吸盘的下表面，能够与所述旋转吸盘一起绕铅直轴旋转；圆筒状内罩，配置在所述旋转轴的周围；外罩，收容被所述旋转吸盘保持的衬底及所述内罩，且具有与所述内罩的下端隔开地配置的中空圆板状的底部、从所述底部的外缘部向上方延伸且配置在所述内罩周围的圆筒状外周壁、及从所述底部的内缘部向上方延伸且配置在所述内罩内侧的圆筒状间壁；外排气通路，为所述外罩的所述外周壁与所述内罩的间隙；底排气通路，与所述外排气通路连通，为所述内罩的下端与所述外罩的所述底部的间隙；内排气通路，与所述底排气通路连通，为所述内罩与所述外罩的所述间壁的间隙；排气部，将所述外排气通路、所述底排气通路及所述内排气通路从所述外罩的所述间壁的内周侧进行排气；及截流环，形成有多个孔部；且所述截流环配置在所述内罩的下端，具有与所述外罩从所述外周壁到所述间壁为止的宽度大致相同的环宽。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：还具备：溶剂供给部，从所述旋转吸盘侧向所述外罩的所述外周壁与所述内罩之间供给溶剂；及液体排出部，用于从所述外罩的底部排出溶剂。3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于：所述截流环配置为在与所述内罩的下端之间具有间隙，所述截流环以内周侧变低的方式倾斜。4.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于：所述内罩具有以外周侧变低的方式倾斜的中空圆板状的上整流部件、及与所述上整流部件的外缘部连接的圆筒状的下整流部件；所述外罩具有设置在其内壁的环状导引突起部；所述导引突起部将被包含所述导引突起部的所述外罩的内壁接住的溶剂引至所述上整流部件上。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：松近启司，松泰司，俵谷佳典，铃木优史，西山耕二，村井征尔，福本靖博，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
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