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具有环绕式栅极薄膜晶体管的非易失性存储器及制造方法技术
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下载具有环绕式栅极薄膜晶体管的非易失性存储器及制造方法的技术资料
文档序号:27570827
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一种具有环绕式栅极薄膜晶体管的非易失性存储器及制作方法,存储器包括多层结构、长形插塞结构、第一导体插塞与第二导体插塞。多层结构,包括多个栅极层,彼此分隔堆叠于基底上。所述多层结构中具有贯穿所述多层结构的孔洞。所述孔洞的截面具有长形轮廓,所述...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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