下载具有环绕式栅极薄膜晶体管的非易失性存储器及制造方法的技术资料

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一种具有环绕式栅极薄膜晶体管的非易失性存储器及制作方法,存储器包括多层结构、长形插塞结构、第一导体插塞与第二导体插塞。多层结构,包括多个栅极层,彼此分隔堆叠于基底上。所述多层结构中具有贯穿所述多层结构的孔洞。所述孔洞的截面具有长形轮廓,所述...
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