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一种Ｘ射线衍射光学元件－高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法，步骤如下：１．在自支撑Ｘ射线掩模衬基上淀积薄铬薄金层；２．在薄铬薄金层表面上甩电子束光刻胶，得到光栅图形；３．所得片子放在电镀液中电镀出Ｘ射线掩模吸收体金图形；４．所得片子去除...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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