温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种光刻设备包括工作台系统和工作台控制系统，所述工作台系统包括可移动工作台，所述工作台控制系统用于响应于设定点信号控制该工作台的位置。所述工作台控制系统包括反馈控制环和加速度前馈（ａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ　ｆｅｅｄｆｏｒｗａｒｄ），所述反馈...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。