下载一种圆柱面光栅光刻刻划机的技术资料

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本实用新型公开一种圆柱面光栅光刻刻划机,属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种圆柱面光栅光刻刻划机,本实用新型要解决的技术问题是:提供一种圆柱面光栅光刻刻划机。解决技术问题的技术方案是:包括床身、传动系统、分度机构和曝光系统。该机是在原来平面...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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