一种圆柱面光栅光刻刻划机制造技术

本实用新型专利技术公开一种圆柱面光栅光刻刻划机，属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种圆柱面光栅光刻刻划机，本实用新型专利技术要解决的技术问题是：提供一种圆柱面光栅光刻刻划机。解决技术问题的技术方案是：包括床身、传动系统、分度机构和曝光系统。该机是在原来平面光栅光刻机的基础上，继续采用原来的床身、分度机构，对传动系统作了少许的改动，重新设计了曝光系统，使得光线由垂直照射光刻平面光栅变为光线水平照射光刻圆柱侧面，刻线方向平行于圆柱面的轴线，成为圆柱面光栅，该机成为圆柱面光栅光刻刻划机。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属光学精密刻划
中涉及的一种圆柱面光栅光刻刻划机。二、技术背景光电轴角编码器是角位移测量的光电传感器，是数字化测角仪器，传统的光电轴角编码器是采用光学码盘或光栅盘作为角度传感元件，与主轴固定在一起，随主轴同步转动，输出角度代码。圆柱面光栅编码器是另一种角位移测量的光电传感器，利用光源发出平行光对准圆柱面光栅的转轴线，再利用两个反射棱镜反射衍射光干涉，通过三个分束器裂相提取角位移信息。圆柱面光栅编码器对轴向精度要求放的很宽，即使在轴向窜动时，编码器的角度信息不会受到影响，因此，对圆柱面光栅编码器的应用受到很多方面的关注。圆柱面光栅是圆柱面光栅编码器的核心部件，刻划圆柱面光栅的设备就是圆柱面光栅刻划机。所谓圆柱面光栅就是在圆柱形的表面上，平行于其轴线的刻线密度达到一定的数值(例如300条线/mm)而成。以往的圆光栅刻划机，都是建立在平面上刻划的，测角用的圆光栅或光学码盘，均刻制在平面圆盘上，我们没有查到有关圆柱面光栅刻划机的相关报导，我们认为与本技术最为接近的已有技术是中国兵器工业出版社一九九四年八月出版的马宏著《精密刻划工艺》一书中P50～57圆刻机。如图1所示，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆柱面光栅光刻刻划机，包括床身、传动系统、分度机构和曝光系统，其特征在于在曝光系统中，导轨（４５）通过两端的升降螺杆（５０）和升降螺母（４９）与床身（５１）的工作台面平行固定在工作台面的上方，可动支架（４６）安装在导轨（４５）上，可左右移动，成直角形的光源光路（４７）安装在可动支架（４６）上，伞齿轮（４１）轴杆的另一端是伞齿轮副（４２）和（４３），可变光阑（４４）通过中心轴孔安装在伞齿轮（４３）的轴上，可绕伞齿轮（４３）的轴转动，光刻刀架（３９）与可变光阑（４４）平行安装，掩模板（３８）装在光刻刀架（３９）上，使得光源光路（４７）的出口与可变光阑（４４）的通光孔，光刻刀架（３９），掩模板（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈贇，朱应时，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]