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为了达到在基底上有均匀的涂层，本发明涉及的装置和方法是用于对基底进行涂层的，其中基底固定在一个基底座（５）上，从而使得待涂基底表面（１５）裸露着，并使基底随基底座旋转，还有一个封盖（２０）可以固定在基底座上，该封盖与基底座共同形成一个封闭的...
该专利属于施蒂格哈马技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过施蒂格哈马技术股份公司授权不得商用。

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