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本发明提供了一种MEMS器件的制造方法及MEMS器件，其板极引出部的至少一个接触孔外围的上极板材料层的上表面上形成有环形阻挡结构，所述环形阻挡结构包括凸起和/或凹槽，相应的接触焊盘填充于所述接触孔中并延伸到所述环形阻挡结构上，且至少覆盖环形...
该专利属于中芯集成电路制造（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造（绍兴）有限公司授权不得商用。

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