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一种传感器装置（１０）可用于测量被设置用于处理衬底的设备的特性，例如光学特性。该传感器装置包括衬底（１），其具有：被设置作为衬底中的集成电路的多个传感元件（２），对于该多个传感元件中的每一个，相关电子电路包括连接到该传感元件的处理电路（６）...该专利属于ASML荷兰有限公司;皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司;皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。