下载基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法的技术资料

文档序号:2744007

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基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法,涉及微光学元件制作技术;该方法制作具有多台阶或连续浮雕结构特征的反射式微光学元件包括以下五个步骤:①应用微细加工技术制备用于热压印的压模;②应用热压印将压模的浮雕结构压印到聚合物薄片上;③在...
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