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基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法技术
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下载基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法的技术资料
文档序号:2744007
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基于热压印技术的金属材料反射式微光学元件加工方法,涉及微光学元件制作技术;该方法制作具有多台阶或连续浮雕结构特征的反射式微光学元件包括以下五个步骤:①应用微细加工技术制备用于热压印的压模;②应用热压印将压模的浮雕结构压印到聚合物薄片上;③在...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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