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本发明涉及使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；和使用第一检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第一类型的发射。检测到的所述第一类型的发射的光谱信息用...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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