使用带电粒子显微镜检查样品的方法技术

本发明专利技术涉及使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；和使用第一检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第一类型的发射。检测到的所述第一类型的发射的光谱信息用于将多个相互不同的相位分配给所述样品。在另外的步骤中，参考HSV颜色空间，使对应的多种不同的颜色色调与所述多个相互不同的相位相关联。使用第二检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第二类型的发射。最后，提供了所述样品的图像表示。提供了所述样品的图像表示。提供了所述样品的图像表示。

【技术实现步骤摘要】
使用带电粒子显微镜检查样品的方法
[0001]描述本专利技术涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：使用第一检测器检测因响应于在样品的区域扫描的带电粒子射束而产生的来自样品的第一类型的发射，和使用检测到的第一类型的发射的光谱信息来检查所述样品。
[0002]带电粒子显微术为一种众所周知且日益重要的显微物体成像技术，尤其是呈电子显微术的形式。从历史上看，电子显微镜的基本类已演变成许多众所周知的装置种类，如透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）和扫描透射电子显微镜（STEM），并且还演变成各种亚种，如所谓的“双射束”装置（例如FIB-SEM），其附加地采用“加工”聚焦离子射束（FIB），允许支持活动，如例如离子射束研磨或离子射束诱导沉积（IBID）。技术人员将熟悉不同种类的带电粒子显微术。
[0003]通过扫描电子射束照射标本，以二次电子、反向散射电子、X射线和阴极发光（红外、可见光和/或紫外光子）的形式加速“辅助”辐射从标本的发出。可检测这种发出辐射的一个或多个分量并将其用于样品分析。
[0004]通常，在SEM中，反向散射电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：
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提供带电粒子射束以及样品；
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使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；
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使用第一检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第一类型的发射；
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使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，将多个相互不同的相位分配给所述样品；
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参考HSV颜色空间，使对应的多个不同颜色色调与所述多个相互不同的相位相关联；
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使用第二检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第二类型的发射；和
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通过控制单元提供所述样品的图像表示，其中使用所述第二类型的发射进行，并且其中所述图像表示含有用于表示所述多个不同相位的相关联的不同颜色色调。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法包含提供光谱数据栈和将所述检测到的所述第一类型的发射和/或所述检测到的所述第一类型的发射的光谱信息存储在所述光谱数据栈中的步骤。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述方法包含提供化学组成数据栈和将所述多个相互不同的相位存储在所述化学组成数据栈中的步骤。4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其中所述方法包含提供颜色数据栈和将所述多个不同颜色色调存储在所述颜色数据栈中的步骤。5.根据权利要求2、3或4所述的方法，其中所述数据栈中的至少一个包含多个数据栈层。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述多个数据栈层中的至少一个包含若干像素，其中每个像素与所述样品的一部分相关联。7.根据权利要求6所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：