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本发明是有关于一种使用单一数据处理单元的多重工具，用以经由影像束工艺而同时处理多片基材的方法与系统，此系统包括多重曝光模组，上述曝光模组可直接写入基材，配置上述曝光模组以自数据处理单元接收写入指令。本发明的系统与方法采用多重曝光模组，多重曝...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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