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本实用新型提供一种经时击穿测试结构，用于测试不同温度下金属间介质层的经时击穿参数，包括：测试模块和加热模块，测试模块位于加热模块上，测试模块用于测试金属间介质层的经时击穿参数，加热模块用于对测试模块加热，测试模块的第一端连接第一电压，测试模...
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