下载一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置的技术资料

文档序号:27408093

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本发明公开了一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置,包括底座,所述底座上设有固定立柱、加热固定机构以及入料导向器,固定立柱的下端与底座固定连接、上端设有供喷管插入固定的插孔;加热固定机构包括固定架、固定导向盘以及燃烧组件,固定架固定安装在所述...
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