一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置，包括底座，所述底座上设有固定立柱、加热固定机构以及入料导向器，固定立柱的下端与底座固定连接、上端设有供喷管插入固定的插孔；加热固定机构包括固定架、固定导向盘以及燃烧组件，固定架固定安装在所述底座上，固定导向盘与入料导向器均固定在所述固定架上，固定导向盘的中心处沿插孔的中轴线方向开设有供料通道；燃烧组件包括脉冲点火器、燃气管以及回火器，燃气管的一端对应安装脉冲点火器、另一端连接回火器。该装置可在开放的常压下完成对小尺寸圆管基体的内壁进行氧化物薄膜的喷涂，也即镀膜，生产环境宽松，原材料旋转灵活，设备结构简单操作容易，方便实现连续化快速生产。化快速生产。化快速生产。

【技术实现步骤摘要】
一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置


[0001]本专利技术涉及镀膜
，具体涉及一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置。

技术介绍

[0002]薄膜材料是一种特殊形态的材料，由于厚度维度远远小于长宽尺寸，材料显示出不同于块体材料的很多物理化学性质，在科研、生产和生活中有广泛的用途。实际生产中，会遇到在圆管内壁沉积制备氧化物薄膜的情况，如气敏传感器、微型加热管等。这种情况下，作为基材的圆管通常是玻璃、石英、陶瓷等材料的，而且外径通常在30mm以下，特别是在10mm左右的情况较为常见。实现这种情况下沉积薄膜的难度主要在于空间狭小，如果再考虑到较大的长径比(L/D＞10)，大部分薄膜制备方法将无法实现成功、高质量制备薄膜的要求。
[0003]现有的真空蒸发、溅射、激光脉冲沉积等等方法，由于成膜物质颗粒是近似直线运动的，基体的几何遮蔽效应严重。此外，不少薄膜制备工艺是基于真空环境的，即便是勉强可以实现小尺寸圆管内壁薄膜沉积，也导致较长的生产周期和高昂的成本。
[0004]热解喷涂是一种常压化学薄膜制备方法，它的核心工艺是把前驱体气溶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上从左至右依次设有固定立柱(2)、加热固定机构以及入料导向器(19)，所述固定立柱(2)的下端与底座(1)固定连接、固定立柱(2)的上端设有供喷管(4)插入固定的插孔；所述加热固定机构包括固定架(20)、固定导向盘(10)以及设置于固定导向盘(10)上的燃烧组件，所述固定架(20)固定安装在所述底座(1)上，所述固定导向盘(10)与所述入料导向器(19)均固定在所述固定架(20)上，所述固定导向盘(10)的中心处沿插孔的中轴线方向开设有供料通道；所述燃烧组件包括脉冲点火器(6)、燃气管(7)以及回火器(9)，所述燃气管(7)的一端对应安装脉冲点火器(6)、燃气管(7)的另一端连接回火器(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置，其特征在于：还包括连接喷管(4)和圆管基体(15)的同心导向环套(5)，所述同心导向环套(5)由...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈远豪，梁昌兴，罗月婷，陈刚，唐毅，龚恒翔，
申请(专利权)人：重庆理工大学，
类型：发明
国别省市：