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本实用新型提供一种射频滤波器,射频滤波器包括:衬底、上电极层、下电极层、加热层和氮化镓层;所述衬底包括通孔区;所述下电极层设置于所述衬底的一侧;所述加热层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧,所述下电极层和所述加热层在所述通孔区相接触;所述...该专利属于迈感微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈感微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种射频滤波器,射频滤波器包括:衬底、上电极层、下电极层、加热层和氮化镓层;所述衬底包括通孔区;所述下电极层设置于所述衬底的一侧;所述加热层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧,所述下电极层和所述加热层在所述通孔区相接触;所述...