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本公开提供一种工艺设计工具包开发方法，包括：基于多个电子设计自动化工具平台的底层函数库构建标准工艺设计工具包；对照预设工艺设计工具包的设置信息，修正所述标准工艺设计工具包的设置信息，得到目标工艺设计工具包。以多电子设计自动化工具平台为基础开...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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