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本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其电能回收装置。该电能回收装置与半导体工艺设备中电机的供电电路连接，用于在电机减速时回收供电电路的电能，电能回收装置包括：检测单元、控制单元及储能单元；检测单元与供电电路连接，用于检测供电电路的电压并且...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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