半导体工艺设备及其电能回收装置制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其电能回收装置。该电能回收装置与半导体工艺设备中电机的供电电路连接，用于在电机减速时回收供电电路的电能，电能回收装置包括：检测单元、控制单元及储能单元；检测单元与供电电路连接，用于检测供电电路的电压并且输出至控制单元；控制单元用于在供电电路的电压大于预设阈值时，控制供电电路为储能单元充电。本申请实施例实现了当供电电路的电压过高时将电能存储至储能电路，不仅有效节省了半导体工艺设备的电能，从而大幅降低了经济成本，并且还提高了半导体工艺设备的环保性。由于无需采用现有技术中的发热电阻，因此降低了供电电路的发热量，从而大幅提高安全性能。从而大幅提高安全性能。从而大幅提高安全性能。

【技术实现步骤摘要】
半导体工艺设备及其电能回收装置


[0001]本申请涉及半导体加工
，具体而言，本申请涉及一种半导体工艺设备及其电能回收装置。

技术介绍

[0002]目前，半导体行业中的单片清洗机主要是去除晶圆的表面污染，提高半导体器件的成品率。在单片清洗机中每个工艺腔室会配置一个伺服电机，用来带动卡盘旋转以带动晶圆高速旋转。由于工艺要求的原因，使得伺服电机频繁地在加速启动状态和减速停止状态之间切换。当伺服电机处减速停止状态时，伺服电机会处于发电状态，通常的做法为在供电电路上配置一个发热电阻，以消耗掉多余的电能。但是，由于伺服电机处于频繁的启停状态，发热电阻会消耗很多的电能，从而造成电能的严重浪费，并且由于发热电阻发热量较大，甚至会影响供电电路运行安全。

技术实现思路

[0003]本申请针对现有方式的缺点，提出一种半导体工艺设备及其电能回收装置，用以解决现有技术存在的电能浪费严重且供电电路存在安全风险的技术问题。
[0004]第一个方面，本申请实施例提供了一种半导体工艺设备中的电能回收装置，所述电能回收装置与所述半导体工艺设备中电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备中的电能回收装置，其特征在于，所述电能回收装置与所述半导体工艺设备中电机的供电电路连接，用于在所述电机减速时回收所述供电电路的电能，所述电能回收装置包括：检测单元、控制单元及储能单元；所述检测单元与所述供电电路连接，用于检测所述供电电路的电压并且输出至所述控制单元；所述控制单元用于在所述供电电路的电压大于预设阈值时，控制所述供电电路为所述储能单元充电。2.如权利要求1所述的电能回收装置，其特征在于，所述检测单元包括检测电路及转换电路，所述检测电路用于检测所述供电电路的电压；所述转换电路用于将所述检测电路检测到的所述供电电路的电压转换为电压值信号。3.如权利要求2所述的电能回收装置，其特征在于，所述检测电路包括第一电阻及第二电阻，所述第一电阻和所述第二电阻串联在所述供电电路的直流母线的正极和负极之间；所述转换电路包括光耦，所述光耦与所述第二电阻并联，用于将所述第二电阻的电压转换为所述电压值信号。4.如权利要求2或3所述的电能回收装置，其特征在于，所述控制单元包括导通电路及控制电路，所述导通电路用于在所述控制电路的控制下选择性导通所述供电电路与所述储能单元，所述控制电路用于根据所述电压值信号控制所述导通电路。5.如权利要求4所述的电能回收装置，其特征在于，所述导通电路包括三极管，所述三极管的集电极与所述供电电路的直流母...

【专利技术属性】
技术研发人员：张朝轩，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：