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本实用新型公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机，分区加热的晶圆加热装置包括：发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器，发热支撑台内限定有加热腔；加热管伸入加热腔以进行加热；加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加...
该专利属于常州铭赛机器人科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州铭赛机器人科技股份有限公司授权不得商用。

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