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玻璃微粒沉积体的制造方法技术
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文档序号:27095514
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一种玻璃微粒沉积体的制造方法,其中,使用硅氧烷作为玻璃原料,将在气化装置中成为气体状的硅氧烷气体和燃烧气体从燃烧器中释放出并燃烧,从而在反应容器内形成玻璃微粒沉积体,在制造了玻璃微粒沉积体的良好部之后,继续向燃烧器供给燃烧气体,同时停止向燃...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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