玻璃微粒沉积体的制造方法技术

一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使用硅氧烷作为玻璃原料，将在气化装置中成为气体状的硅氧烷气体和燃烧气体从燃烧器中释放出并燃烧，从而在反应容器内形成玻璃微粒沉积体，在制造了玻璃微粒沉积体的良好部之后，继续向燃烧器供给燃烧气体，同时停止向燃烧器供给作为玻璃原料的硅氧烷，将玻璃微粒沉积体从反应容器中取出，使惰性气体流过从气化装置至燃烧器为止的原料气体端口以进行清洗，如果在来自燃烧器的火焰中没有观察到因硅氧烷气体燃烧而产生的颜色，则停止燃烧气体的供给。则停止燃烧气体的供给。则停止燃烧气体的供给。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃微粒沉积体的制造方法


[0001]本专利技术涉及玻璃微粒沉积体的制造方法。
[0002]本专利申请要求基于2018年6月15日提出的日本专利申请2018-114363号的优先权，并且援引该专利申请中记载的全部记载内容。

技术介绍

[0003]专利文献1中记载了使用硅氧烷作为玻璃合成用原料而制造玻璃微粒沉积体的方法。
[0004]另外，专利文献2中记载了：在移动至没有沉积玻璃微粒的模式的情况下，在密封气体喷嘴中，流过燃烧气体以替换密封气体，并在燃烧气体端口中，将所述燃烧气体端口的燃烧气体替换成清洗气体。
[0005]进一步，专利文献3中记载了：在向燃烧器供给的玻璃原料气体成为零点时，在MFC(Mass Flow Controller：质量流量控制器)的上游替换所述原料气体和惰性气体A，将来自MFC的气体从燃烧器一侧替换到排气侧，向燃烧器中供给惰性气体B，从而利用惰性气体A和B清洗了所述原料气体供给通路。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2015-1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其为这样的制造方法：使用硅氧烷作为玻璃原料，将在气化装置中成为气体状的硅氧烷气体和燃烧气体从燃烧器中释放出并燃烧，从而在反应容器内形成玻璃微粒沉积体，其中，在制造了所述玻璃微粒沉积体的良好部之后，继续向所述燃烧器供给所述燃烧气体，同时停止向所述燃烧器供给作为所述玻璃原料的所述硅氧烷，将所述玻璃微粒沉积体从所述反应容器中取出，使惰性气体流过从所述气化装置至所述燃烧器为止的原料气体端口以进行清洗，若在来自所述燃烧器的火焰中没有观察到因所述硅氧烷气体燃烧而产生的颜色，则停止所述燃烧气体的供给。2.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其为这样的制造方法：使用硅氧烷作为玻璃原料，将在气化装置中成为气体状的硅氧烷气体和燃烧气体从燃烧器中释放出并燃烧，从而在反应容器内形成玻璃微粒沉积体，其中，在制造了所述玻璃微粒沉积体的良好部之后，继续向所述燃烧器供给所述燃烧气体，同时停止向所述燃烧器供给作为所述玻璃原料的所述硅氧烷，使惰性气体流过从所述气化装置至所述燃烧器为止的原料气体端口以进行清洗，在由所述燃烧气体形成的火焰中，使所述玻璃微粒...

【专利技术属性】
技术研发人员：早川正敏，伊藤真澄，守屋知巳，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：