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磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底制造技术
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下载磷化铟单晶和磷化铟单晶衬底的技术资料
文档序号:27011036
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提供一种磷化铟单晶,所述磷化铟单晶包含具有圆柱形状的直体部,其中外周部中在切线方向上的残余应变为压缩应变,所述外周部在位于从所述直体部的外周面起朝中心轴向内10mm处的内周面与位于从所述外周面起向内5mm处的位置之间延伸。还提供一种磷化铟单...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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