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本发明涉及半导体技术领域，具体是一种针对Pin Fin基板的快速热校准装置，包括电磁加热板，与现有技术不同的是：所述电磁加热板的上表面直接或间接抵接导热良好的槽体的下表面，所述槽体内盛装满细沙，需测量的Pin Fin基板埋入所述细沙内。与现...
该专利属于华电(烟台)功率半导体技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华电(烟台)功率半导体技术研究院有限公司授权不得商用。

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