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本实用新型提供一种基座及反应腔室，基座包括：基座本体，基座本体的上表面开设有多个安装槽；以及多个支撑件，每个支撑件可拆卸地设置于一个安装槽内且支撑件的端部凸出于基座本体的上表面。本实用新型在基座本体的上表面设置安装槽，支撑件可拆卸地设置于安...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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