下载三维存储器结构及其制备方法的技术资料

文档序号:26974225

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本发明提供一种三维存储器结构及其制备方法,该三维存储器结构包括外围电路芯片;存储阵列芯片,与所述外围电路芯片键合,所述存储阵列芯片包括栅极堆叠结构,所述栅极堆叠结构具有核心区域和台阶区域,所述栅极堆叠结构包括靠近所述外围电路芯片的第一栅极堆...
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