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包括栅极层和竖直结构的半导体器件制造技术
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下载包括栅极层和竖直结构的半导体器件的技术资料
文档序号:26974210
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一种半导体器件包括:衬底上的竖直结构;以及衬底上的层间绝缘层和栅极层,其中,栅极层顺序堆叠在存储单元阵列区中并延伸到延伸区中,栅极层在延伸区中具有呈阶梯结构的焊盘区,第一竖直结构的表面面对栅极层,第二竖直结构的表面面对至少一个栅极层,第一竖...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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