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提供加工装置以及卡盘工作台，防止与卡盘工作台的更换相伴的被加工物的加工品质降低。加工装置包含：卡盘工作台；加工单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；移动单元，其使卡盘工作台和加工单元在与保持面平行的X轴方向和Y轴方向上相对移动；高度...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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