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本发明公开了一种微流道入口盖板及其制备和使用方法，属于微纳加工技术领域，解决了现有技术中微流道尺寸无法实现更小尺寸的微流道、存在软管脱落的风险的问题。本发明微流道入口盖板包括盖板单元和连接管；盖板单元上设置有阶梯孔，阶梯孔由顶部大孔和底部小...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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