下载压力传感器的技术资料

文档序号:26896269

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压力传感器(40)具有:基底构件(12);膜片(18),其以与基底构件(12)隔开间隔的方式配置;第一固定电极(14),其以与膜片(18)相向的方式设置于基底构件(12),该第一固定电极(14)具备电介质层(24);以及第二固定电极(16)...
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