温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及垂直腔表面发射激光器、其制造方法及其检查方法。垂直腔表面发射激光器包括设置在半导体层上的第一绝缘膜，第一绝缘膜具有凹部、设置在第一绝缘膜的凹部中的识别标记，识别标记由金属层形成，以及设置在半导体层的上方并且覆盖第一绝缘膜和金属层的...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。