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面发射激光器制造技术
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文档序号:26894038
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本发明提供能够进行高速动作的面发射激光器。面发射激光器(100)具有:基板(20);下部接触层(122),设置在基板(20)上;半导体层的台面(30),在下部接触层(122)上依次层叠有下部反射镜层(123)、有源层(124)、上部反射镜层...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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