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本发明涉及垂直腔表面发射激光器及其制造方法、模块的制造方法和拾取垂直腔表面发射激光器的方法。垂直腔表面发射激光器包括：设置在基板上的发光部；设置在基板上的第一焊盘，该第一焊盘被电连接至发光部；以及设置在基板上的第二焊盘，该第二焊盘电被与发光...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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