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面发射激光器制造技术
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文档序号:26894029
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本发明提供一种面发射激光器,所述面发射激光器能够得到与接触层的良好的欧姆接触,并且能够减少接触层中的光吸收。面发射激光器具有:基板(20);半导体层台面(30),所述半导体层台面(30)通过在基板(20)上依次层叠下部反射镜层(123)、有...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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