下载面发射激光器的技术资料

文档序号:26894028

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本发明提供在输送面发射激光器时,不会以倾斜的状态吸附于夹头的面发射激光器。面发射激光器具有基板(20)和基板(20)上的半导体层(21),在利用俯视观察时通过基板(20)的中心(20a)的第一方向的直线(L1)和与第一方向正交的通过基板(2...
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